Cryopump là một loại bơm chân không sử dụng bề mặt có nhiệt độ thấp để ngưng tụ khí, còn được gọi là bơm ngưng tụ. Cryopump có thể thu được chân không sạch với tốc độ bơm cao nhất và áp suất cuối cùng thấp nhất, và được sử dụng rộng rãi trong nghiên cứu và sản xuất chất bán dẫn và mạch tích hợp, cũng như nghiên cứu chùm phân tử, thiết bị phủ chân không, thiết bị phân tích bề mặt chân không, ion máy cấy và mô phỏng không gian. thiết bị, v.v.
Nguyên lý bơm Tủ lạnh được trang bị một tấm lạnh được làm lạnh đến nhiệt độ rất thấp bằng heli lỏng hoặc tủ lạnh. Nó làm ngưng tụ khí và giữ áp suất hơi của chất ngưng tụ thấp hơn áp suất cuối cùng của bơm, để đạt được hiệu quả bơm. Các chức năng chính của bơm nhiệt độ thấp là ngưng tụ ở nhiệt độ thấp, hấp phụ ở nhiệt độ thấp và thu giữ nhiệt độ thấp.
túi lạnh
① Ngưng tụ nhiệt độ thấp: các phân tử khí ngưng tụ trên bề mặt tấm lạnh hoặc trên lớp khí ngưng tụ, và áp suất cân bằng về cơ bản bằng áp suất hơi của chất ngưng tụ. Khi bơm hydro, nhiệt độ tấm lạnh thấp hơn.
②Hấp phụ ở nhiệt độ thấp: Các phân tử khí được hấp phụ trên bề mặt chất hấp phụ phủ trên tấm lạnh có bề dày bằng một lớp phân tử. Áp suất cân bằng cho quá trình hấp phụ thấp hơn nhiều so với áp suất hơi ở cùng nhiệt độ.
③ Bẫy sinh chất: Các phân tử khí không thể ngưng tụ ở nhiệt độ chiết được chôn vùi và hấp phụ bởi lớp khí ngưng tụ đang phát triển.