Theo phương thức cung cấp của môi chất, cryopumps được chia thành các loại sau:
Bơm đông lạnh bồn chứa: môi chất nhiệt độ thấp (helium lỏng) được bơm trực tiếp vào bồn chứa trong bơm để ngưng tụ khí nhằm đạt được mục đích bơm.
Ưu điểm của két đông lạnh là bơm có kích thước nhỏ, không rung, không ồn, dễ vận hành.
Nhược điểm của bơm đông lạnh bồn chứa là chi phí vận hành cao, thời gian sử dụng mỗi lần nạp môi chất nhiệt độ thấp ngắn, hệ thống chân không hoạt động liên tục trong thời gian dài cần phải bổ sung định kỳ mới hoạt động được. trung bình, và bị giới hạn bởi các điều kiện cung cấp của môi trường nhiệt độ thấp.
Quy trình cryopump: Đường ống làm lạnh của hộp làm lạnh trong máy bơm được kết nối với bộ giãn nở làm lạnh và môi chất đông lạnh (khí heli) được cung cấp cho tủ lạnh thông qua đường ống bên ngoài, hấp thụ nhiệt của hộp lạnh và sau đó quay trở lại máy nén lạnh để tạo thành một chu trình khép kín. Khối lượng máy bơm rất lớn, đường ống phức tạp, tổn thất làm mát đường ống lớn.
Ưu điểm của quá trình cryopump là nó có công suất làm lạnh lớn và phù hợp nhất để loại bỏ thể tích khí quyển hoặc buồng chân không lớn.
Hệ thống lạnh tủ lạnh nhỏ: Hệ thống bảo vệ lạnh tủ lạnh nhỏ chu trình kín bao gồm thân máy bơm nhiệt độ thấp, tấm ngăn lạnh hút khí, tấm chắn bức xạ, tủ lạnh và máy nén.
Sự khác biệt lớn nhất giữa máy bơm đông lạnh của tủ lạnh nhỏ và máy bơm đông lạnh của quy trình là đầu lạnh thứ nhất và thứ hai của tủ lạnh được kết nối trực tiếp với màn hình bức xạ và tấm lạnh, và dòng chảy trong đường ống kết nối giữa tủ lạnh và máy nén là nhiệt độ bình thường, nhiệt độ cao (hoặc thấp). ) Môi chất khí điều áp, không có vấn đề vận chuyển của môi trường nhiệt độ thấp, và nó có những ưu điểm của quá trình đông lạnh và đông lạnh bồn chứa. Nó là một máy bơm chân không siêu cao sạch lý tưởng hiện nay.
Các khối đông lạnh tủ lạnh nhỏ được sử dụng rộng rãi trong chế tạo màng mỏng, công nghệ vi điện tử, vật lý năng lượng cao, thiết bị khuôn dập vòng nhỏ và các lĩnh vực công nghiệp khác.