Đặc điểm cấu trúc và ưu điểm của Cryopumps

Jun 15, 2022 Để lại lời nhắn

Cấu trúc thẳng đứng: thích hợp để chôn dưới đất, sẽ không bị ảnh hưởng bởi khí nóng của động cơ, nhiệt độ không khí và ánh nắng mặt trời,… và dễ dàng giữ lạnh; nó có thể giảm chiều cao hút của máy bơm, tăng đầu nạp và cải thiện NPSH hiệu quả; cơ cấu thẳng đứng cũng Có lợi để thải khí ra ngoài, để trục treo có đủ chiều cao thuận lợi cho việc bố trí thiết bị làm kín trục nên máy bơm còn được gọi là máy bơm thùng đứng.


Cấu trúc đối xứng: Cấu trúc tổng thể của máy bơm được bố trí đối xứng để nó có thể biến dạng đồng nhất ở trạng thái nguội. Đầu lạnh thường áp dụng cơ chế hai giai đoạn, giai đoạn đầu tiên đạt 80K và giai đoạn thứ hai đạt nhiệt độ 10K.


Vỏ hai lớp: Để giữ lạnh và thuận tiện cho việc vận chuyển các phương tiện nguy hiểm, người ta thường làm thành vỏ hai lớp. Vỏ bên trong chịu áp lực bơm và áp suất hút giữa vỏ trong và vỏ ngoài, điều này có thể làm giảm các yêu cầu về độ bền của vỏ bên trong một cách thích hợp. Lớp vỏ bên ngoài cần được chế tạo thành lớp xen kẽ chân không, đã đạt được hiệu quả cách nhiệt.


Thuận lợi:

(1) Cryopumps có lợi thế không thể so sánh được so với các sản phẩm khác trong việc thu được chân không sạch và không có dầu. Nó có thể được sử dụng như một tiêu chuẩn để nghiên cứu mức độ ô nhiễm chân không của các máy bơm chân không khác;


(2) Máy bơm đông lạnh có tốc độ bơm lớn để loại bỏ hơi nước và các hỗn hợp ẩm khác;


(3) Cryopump cũng có tốc độ bơm lớn để chiết xuất các phân tử trọng lượng nhẹ;


(4) Trong các thiết bị chân không yêu cầu tốc độ bơm lớn, thiết bị đông lạnh là kinh tế nhất. Cryopumps thương mại có thể cung cấp tốc độ bơm cao trong các lỗ khoan nhỏ


(5) Cryopump hoạt động dựa trên sự hấp phụ ở nhiệt độ thấp, không cần vật liệu điện tử khác và sẽ không có sự dao động;


(6) Không có bộ phận chuyển động trong chân không, độ ổn định cao và không có vấn đề về niêm phong;


(7) Việc lắp đặt bộ phận làm lạnh không yêu cầu bất kỳ sự định hướng nào;


(8) Tủ lạnh cũng có thể chiết xuất một cách có chọn lọc một loại khí nhất định.