Cryopumps cũng được sử dụng rộng rãi trong cuộc sống hiện nay. Nhiều người có thể chưa nghe nói về cryopumps. Cryopumps là một loại máy bơm chân không sử dụng khí ngưng tụ bề mặt nhiệt độ thấp. Ưu điểm là công suất bơm là lớn nhất. Hôm nay, chúng ta hãy xem xét máy bơm đông lạnh Máy bơm hoạt động như thế nào.
Nguyên lý hoạt động của tủ lạnh là sử dụng khí để hấp phụ vật lý trên bề mặt có nhiệt độ cực thấp để đạt được hiệu quả xả hết. Đây là một phương pháp hiệu quả và nhanh chóng để có được một chân không sạch.
Bộ phận đông lạnh có thể đạt đến độ chân không cực cao (10-11 Pa) và có ưu điểm là tốc độ xả nhanh, không cần dầu và không giới hạn hướng lắp đặt.
Trong giai đoạn lạnh giai đoạn đầu của tủ lạnh, một tấm che và vách ngăn được thiết lập và nhiệt độ được duy trì ở 80K. Giai đoạn làm mát thứ cấp được duy trì ở 15K, và một lớp phủ đông lạnh và chất hấp phụ than hoạt tính được đặt trên đó.
Hơi nước được đông đặc trên tấm chắn 80K và tấm vách ngăn 80K; nitơ, oxy và argon được đông đặc trên lớp vỏ đông lạnh 15K; hydro, heli và neon được hấp phụ trên chất hấp phụ bên trong lớp vỏ đông lạnh 15K. Tủ lạnh có thể thải tất cả các loại khí, nhưng nếu lượng khí bị hấp phụ quá lớn thì tốc độ thoát khí sẽ bị giảm. Trong trường hợp này, cần phải làm nóng tủ lạnh, giải phóng khí bị hấp phụ và sử dụng lại.
Tính năng Cryopump
Cryopump là một loại bơm chân không sử dụng bề mặt có nhiệt độ thấp để ngưng tụ khí, còn được gọi là bơm ngưng tụ. Cryopump có thể thu được chân không sạch với tốc độ bơm cao nhất và áp suất cuối cùng thấp nhất, và được sử dụng rộng rãi trong nghiên cứu và sản xuất chất bán dẫn và mạch tích hợp, cũng như nghiên cứu chùm tia phân tử, thiết bị phủ chân không, thiết bị phân tích bề mặt chân không, ion máy cấy và thiết bị mô phỏng không gian, v.v. khía cạnh.
Cryopump là một bơm chân không sử dụng hiệu ứng ngưng tụ của bề mặt làm mát có nhiệt độ rất thấp (Nhỏ hơn hoặc bằng 77K) để loại bỏ khí ra khỏi hệ thống. Kể từ những năm 1960, bơm đông lạnh ngày càng được sử dụng rộng rãi hơn trong việc thu nhận và ứng dụng chân không.
Cryopump là một máy bơm chân không sạch. Vì môi chất đông lạnh chỉ là môi chất lạnh làm lạnh bề mặt hút của máy bơm và được bảo quản hoặc lưu thông trong thùng kín, không tiếp xúc với không gian chân không. Tính năng này rất quan trọng đối với một số hệ thống chân không yêu cầu hệ thống chân không sạch, không dầu.
Cryopumps có thể đạt được áp suất riêng phần rất thấp và tốc độ bơm rất cao đối với hầu hết các loại khí. Khi cryopump hoạt động trong môi trường heli lỏng, nó cũng có ưu điểm là khả năng bơm thực tế lớn và bơm không chọn lọc (ngoại trừ heli).
Cryopumps đóng một vai trò quan trọng trong việc nghiên cứu và sản xuất chất bán dẫn và mạch tích hợp, nghiên cứu chùm phân tử và các lĩnh vực khác. Nó là một máy bơm chân không sạch. Trên đây là toàn bộ về nguyên lý hoạt động của tủ lạnh.